ENT-5 — Nanoindentationstester
SKU: 202311-ENT-5-E-S
5. Generation von Elionix
Nanoindentationstester
Hohe Datenreproduzierbarkeit durch Unterdrückung von Störungen in der Messumgebung
"Made in Japan."
Unterstützt einen breiten Bereich von Prüflasten von 0,5µN bis 2.000mN
Hauptmerkmale
Anwendbar auf verschiedene Materialarten
- Dünnschichtmaterialien wie Beschichtungen und harte Schichten
- Harzmaterialien, Folienmaterialien
- Extrem dünne Schichten wie DLC
- Funktionale Harzschichten und Oberflächenmodifikationsschichten
- Mikropartikel und Pulvermaterialien
Nanoindentationstest
- Mechanische Eigenschaften wie Härte und Elastizitätsmodul von Dünnschichten, extremen Oberflächen und winzigen Bereichen können ermittelt werden.
- Eine Eindruckbeobachtung ist nicht erforderlich, da die Eigenschaften durch Analyse der Last-Verschiebungskurve ermittelt werden.
- Konform mit ISO 14577-1/JIS Z 2255
Datenreproduzierbarkeit und Wartbarkeit
1. Temperaturkontrollmechanismus
- Unterdrückt thermische Ausdehnung von Proben und Prüfmaschinen
- Temperaturkontrolle innerhalb der Windschutzscheibe bei ±0,1℃
- Material mit geringer thermischer Ausdehnung (Nobinit) wird für Messteile verwendet.
- Blockiert den Einfluss äußerer Luftströme
2. Hochpräzisions-Positionierbühne
- Hochpräzisions-Bühnentechnologie für intern entwickelte Elektronenstrahl-Lithographiegeräte übernommen
- Positionierung in 0,1μm-Schritten möglich
- Messung jeder Position mit einer Beobachtungsvergrößerung von 2.000x (bei Verwendung einer Standard-Objektivlinse von 20x und digitalem Zoom)
3. Antivibrationsmechanismus
- Hochpräzise keilförmige Bühne, die vibrationsresistent ist
- Standardmäßig mit einem aktiven Antivibrationstisch ausgestattet
4. Software
- Hilfsfunktionen wie Eindringspitzenkorrektur, Temperaturdriftkorrektur und Erinnerungen für tägliche Inspektion
- Bedienbarkeit, die durch langjährige Erfahrung entwickelt wurde
5. Datenreproduzierbarkeit
- Die Datenreproduzierbarkeit wird durch einen Mechanismus verbessert, der die Auswirkungen von Störungen wie Vibrationen und Temperaturänderungen unterdrückt.
- Stabile Datenerfassung ist auch bei kontinuierlicher Messung möglich
6. Wartbarkeit
- Einfacher Austausch von Hochlast- und Niedriglasteinheit
- Geräteausfallzeit wird durch Kalibrierung der Geräte durch Austausch von Einheiten reduziert.
Lasteinheit
Hochlasteinheit-Messbeispiel [Quarzglas] (Prüflast: 100μN 9-fache Überlappung)
[caption id="" align="alignnone" width="584"]
Niedriglasteinheit-Messbeispiel [Resist] (Prüflast: 1μN 9-fache Überlappung)[/caption]
Niedriglasteinheit-Messbeispiel [Resist] (Prüflast: 1μN 9-fache Überlappung)[/caption]
▶ Hochlasteinheit
- Prüfungen von 5 μN bis 2 N sind möglich.
- Kompatibel mit Härteprüfungen für eine breite Palette von Materialien, von metallischen Materialien bis zu polymeren Materialien.
- Entspricht 0,5 μN bis 10 mN.
- Weiche Materialien (Elastizitätsmodul: einige GPa oder weniger) und
- Funktionale Harze wie UV-härtbare Harze, Low-k-Schichten, elastische Materialien wie Silikongummi und ultradünne harte Schichten wie DLC-Schichten Geeignet für die Bewertung mechanischer Eigenschaften.
Messbeispiel
Dynamischer Test
Es ist möglich, die Härteverteilung in der Eindringtiefenrichtung kontinuierlich zu erfassen, indem der Test unter Anwendung winziger Vibrationen auf den Eindringkörper durchgeführt wird.
- Probe: Quarzglas (blau), DLC-Schicht (rot)
- Testergebnis: Quarzglas zeigt unabhängig von der Eindringtiefe eine nahezu konstante Härte. Andererseits kann im Fall der DLC-Probe gesehen werden, dass sich die Härte der DLC-Schicht an der Oberfläche und die Härte des Grundmaterials kontinuierlich ändern, während sie vom Grundmaterial beeinflusst werden.
Produktvideos
Measure the hardness and elastic modulus of ultrathin films with nanometer-scale indentation: ENT-5
ELIONIX's ENT-5 is a nanoindentation tester capable of measuring the hardness and elastic modulus of thin films less than 1 micrometer thick. It features a wide range of measurement loads from 0.5 µN to 2 N, which includes the indentation load range of a Vickers hardness tester. The high-speed mapping function allows for measurements at a speed of up to 1 point per second. It can also measure the fracture and deformation strength of particles as small as a few micrometers. Creating analysis reports is also easy, with test results immediately exportable as CSV or PDF files.
Nanoindentation ENT-5 Standard Test Video
High data reproducibility achieved by suppressing external influences (temperature, vibration) in the measurement environment Reliable Japanese-made product supporting a wide test load range from 0.5μN to 2,000mN Capable of measuring various materials (thin film materials such as plating and hard coatings, resin materials, film-based materials, ultra-thin films like DLC, functional water-repellent coatings or surface-modified layers, fine particles or powder materials) Obtains mechanical properties such as hardness and elastic modulus for thin films, ultra-small surfaces, and micro-regions No indentation observation required to analyze load-displacement curves and derive characteristics Complies with ISO 14577-1 / JIS Z 2255